微型傳感器的技術(shù)參數(shù)與應(yīng)用分析

微傳感器是目前較為成功、也是較為實(shí)用的微機(jī)電器件，主要包括微壓力傳感器和利用微膜片的機(jī)械變形產(chǎn)生電信號輸出的微傳感器；另外還有微型傳感器，這些微型傳感器的面積大多小于1mm2。

隨著微電子加工技術(shù)特別是納米加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，傳感器技術(shù)將從微傳感器向納米傳感器發(fā)展。這些微傳感器體積小，可以實(shí)現(xiàn)許多新功能，便于大規(guī)模生產(chǎn)和高精度生產(chǎn)，單片成本低，易于形成大規(guī)模多功能陣列，非常適合汽車應(yīng)用。

汽車傳感器是汽車顯示和電子控制系統(tǒng)中使用的各種傳感器的總稱。它涉及許多物理和化學(xué)傳感器。這些傳感器要么讓司機(jī)知道汽車各個部分的狀態(tài)；或者用來控制汽車各部分的狀態(tài)。

汽車溫度傳感器主要用于檢測發(fā)動機(jī)溫度、吸氣溫度、冷卻水溫度、燃油溫度和催化溫度。溫度傳感器主要有三種類型:熱敏電阻型、線繞電阻型和熱電偶電阻型。這三種類型的傳感器各有特點(diǎn)，應(yīng)用也略有不同。熱敏電阻溫度傳感器靈敏度高，響應(yīng)特性好，但線性度差，對溫度的適應(yīng)性低。

其中，一般溫度測量范圍為-50℃~30℃，精度為1.5%，響應(yīng)時間為10ms；高溫型600℃~1000℃，精度5%，響應(yīng)時間10ms；線繞電阻溫度傳感器精度高，但響應(yīng)特性差；熱電偶電阻溫度傳感器精度高，測量溫度范圍寬，但需要與放大器和冷端處理配合使用。其他實(shí)用產(chǎn)品有鐵氧體溫度傳感器(溫度范圍-40℃~120℃，精度2.0%)，金屬或半導(dǎo)體薄膜空氣溫度傳感器(溫度范圍-40℃~150℃，精度2.0%，5%，響應(yīng)時間20ms左右)等。

稱重傳感器原則上是壓力傳感器，但形狀不同。但是，感知的方式通常有很多種，但是可以看到，使用的次數(shù)更多。比如地磅用的一般都是渦流式的。也就是說，他有一個渦流觸發(fā)繞組，然后一個傳感器感應(yīng)渦流強(qiáng)度。由于整個稱重傳感器是用金屬封裝的，所以渦電流受壓后變形，渦電流發(fā)生變化，放大后可以讀取數(shù)據(jù)。那么，封裝這個東西的材料通常是剛性材料。

總之就是普通金屬，比如鋼，但是不會用什么很軟的東西。因?yàn)榧词故卿?，即使受壓變形幾微米，渦流的變化也足以感應(yīng)到它變化了多少，如果是軟金屬，重的時候很容易出問題。至少帶渦流傳感的壓力傳感器不會是軟金屬做的。稱重傳感器檢測電路的功能是將電阻應(yīng)變片的電阻變化轉(zhuǎn)化為電壓輸出。

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