壓力傳感器的靈敏度通常會(huì)受溫度影響,主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
材料特性改變
許多壓力傳感器的傳感元件是由具有特定物理特性的材料制成,比如金屬材料的彈性模量會(huì)隨溫度變化而改變。當(dāng)溫度升高或降低時(shí),金屬的彈性發(fā)生變化,在受到相同壓力作用下,其形變量就會(huì)與常溫狀態(tài)不同,進(jìn)而影響傳感器將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)等輸出量的能力,使得靈敏度出現(xiàn)波動(dòng)。
對(duì)于基于半導(dǎo)體材料的壓力傳感器,其壓阻系數(shù)等電學(xué)特性與溫度密切相關(guān)。溫度變化會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體內(nèi)部載流子濃度、遷移率等改變,從而影響其在壓力作用下電阻變化的情況,最終對(duì)傳感器的靈敏度產(chǎn)生影響。
熱膨脹效應(yīng)
傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)部件,例如外殼、應(yīng)變片基底等,會(huì)因溫度變化產(chǎn)生熱脹冷縮現(xiàn)象。若這些結(jié)構(gòu)部件的熱膨脹系數(shù)不一致,在溫度改變時(shí),可能會(huì)引起內(nèi)部應(yīng)力變化,改變應(yīng)變片等傳感元件的受力狀態(tài),致使原本在標(biāo)準(zhǔn)溫度下設(shè)定好的靈敏度發(fā)生改變。例如,當(dāng)溫度升高使外殼膨脹程度大于應(yīng)變片基底時(shí),會(huì)對(duì)應(yīng)變片產(chǎn)生額外的應(yīng)力,干擾其正常對(duì)壓力產(chǎn)生形變響應(yīng),影響靈敏度的準(zhǔn)確性。
零點(diǎn)漂移和滿量程輸出變化
溫度變化容易造成壓力傳感器的零點(diǎn)漂移,也就是在無(wú)壓力作用時(shí),輸出信號(hào)不再穩(wěn)定在初始設(shè)定的零點(diǎn)值,而是隨溫度波動(dòng)發(fā)生偏移。這樣一來(lái),當(dāng)有壓力施加時(shí),以零點(diǎn)為基準(zhǔn)去衡量的壓力變化對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)變化關(guān)系就被打亂,相當(dāng)于改變了傳感器的靈敏度表現(xiàn)。
同時(shí),滿量程輸出也會(huì)受溫度影響,原本在額定溫度下校準(zhǔn)好的滿量程對(duì)應(yīng)的輸出值,在溫度改變后可能會(huì)出現(xiàn)偏差,導(dǎo)致整個(gè)量程范圍內(nèi)靈敏度的線性度等指標(biāo)變差,無(wú)法準(zhǔn)確按照既定的靈敏度系數(shù)來(lái)反映壓力變化情況。
不過(guò),通過(guò)采用一些溫度補(bǔ)償技術(shù),比如利用熱敏電阻構(gòu)建溫度補(bǔ)償電路、采用軟件算法進(jìn)行溫度誤差修正等,可以在很大程度上減小溫度對(duì)壓力傳感器靈敏度的影響,使其在不同溫度環(huán)境下仍能保持相對(duì)穩(wěn)定的性能。
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