用電容敏感元件把測(cè)壓元件制作為壓力傳感器

用電容敏感元件把測(cè)壓元件轉(zhuǎn)化為壓力傳感器，使其具有一定的輸出電壓。通常用圓形金屬膜或鍍金屬薄膜作為電容器的電極，當(dāng)薄膜受壓變形時(shí)，薄膜與固定電極間所形成的電容量發(fā)生變化，并通過(guò)測(cè)量電路輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)。電容器式壓力傳感器是一種變距式電容傳感器，它可以分為單容式和差動(dòng)式兩種。

單容壓力傳感器由圓膜和固定電極組成。電容器受壓變形后，電容器的容量發(fā)生變化，電容的靈敏度大致與膜的面積和壓力成正比，而與膜的張力及膜對(duì)固定電極的距離成反比。另外一種類型的固定電極是一種凹球面，其周圍是固定的張緊平面，膜片可以用塑料鍍金屬層的方法制作。本型號(hào)適用于低電壓測(cè)量，具有高過(guò)負(fù)荷能力。也可使用帶活塞動(dòng)極性隔膜構(gòu)成的單電容式高壓傳感器。這一類型可以減少膜片的直接壓力面積，從而通過(guò)更薄的膜片來(lái)提高靈敏度。并將其與各種補(bǔ)償、保護(hù)部分及放大電路集成在一起，以增強(qiáng)抗干擾能力。該傳感器適合于測(cè)量動(dòng)態(tài)高電壓和飛行器的遙測(cè)。單容式壓力傳感器有傳聲器型(即話筒型)和聽診器型等。

該壓膜片電極與其在兩個(gè)固定電極之間，形成兩個(gè)電容器。通過(guò)差動(dòng)電路輸出電容，當(dāng)有壓強(qiáng)時(shí)，電容增大，另一電容減小。其固定電極是在凹凸玻璃表面鍍一層金屬制成。過(guò)負(fù)荷時(shí)，隔膜受凹陷保護(hù)，不會(huì)破裂。微分電容式壓力傳感器的靈敏度高，線性度好，但是很難加工(尤其是對(duì)稱性很難保證)，并且不能隔離被測(cè)氣體或液體，所以不適合工作在腐蝕性或雜質(zhì)流體中。

電容式力敏元件

它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快等特點(diǎn)，但由于漏電困難，不適合用來(lái)測(cè)量靜力。

電容式力敏元件

長(zhǎng)方形特制彈性元件上，每一圓孔均開一對(duì)通透的圓孔，每一端接一對(duì)正丁字電極，每一電極貼合銅箔，構(gòu)成多個(gè)平行板電容器并聯(lián)組成的測(cè)量電路。當(dāng)力F作用時(shí)，彈性元件的變形引起極板間矩的變化，從而改變電荷。

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